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ISO14644-1 FED STD 209E CLASS Number of Par Cubic Meter by Micrometer Size ISO Class English Metric 0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 0.5um 5um m 3 m 3 m 3 ft 3 m 3 1 ISO1 2 ISO2 4 3 1 M1.5 1SO3 35 4 10 M2.5 ISO4 10 353 5( 百级 ) 100 M3.5 ISO5 100...查看次数:62次 / 2008-12-31
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2洁净室的分类 一、按用途分类 按用途可分为两大类: (1)工业洁净室--以无生命的微粒作为控制对象。主要控制无生命微粒对 工作对象的污染,内部一般保持正压。它适用于精密工...查看次数:210次 / 2008-12-31