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电子净化车间的设计
编辑:東鑫净化工程网 | 发布时间:2017-05-10 11:40 | 浏览次数:
电子净化车间的设计,以芯片生产车间、集成电路新葡新京网址和磁盘制造车间为代表的电子工业工程净化车间(区)除了对微粒的严格控制外,还对温湿度的控制、照度(甚至光源要求)微震等要求更严格,消除静电对生产产品的影响,从而使环境达到电子产品在洁净环境的生产工艺要求。
洁净室(区)的温、湿度应根据生产工艺要求确定当生产工艺无具体要求时,其温度可按20~26℃,相对湿度30%~70%采用。人员净化用室和生活用室的温度可按16~28℃采用。根据与国际ISO标注接轨的中国国家标准GB-50073,这类洁净室(区)的洁净度等级1-9级,其中1-5级,气流流型为单向流或混合流,风速0.2-0.45m/s;6级气流流型为非单向流,换气次数50-60次/h;7级气流流型为非单向流,换气次数15-25次/h;8-9级气流流型为非单向流,换气次数10-15次/h。
根据现行规范,电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)
1.电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。
2.电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa
3.电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值。
4.补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
5.保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40㎡。
 
 

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