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洁净室等级
编辑:東鑫净化工程网 | 来源:www.dx16.com | 发布时间:2014-11-10 12:01 | 浏览次数:
洁净室等级标准
ISO/DIS 14644-1 洁净室和洁净区按空气中悬浮粒子浓度的分级  
ISO分级 大于等于表中所列粒径悬浮粒子最大允许浓度(颗/m3) 
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm 

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