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光学微电子净化车间工程结构材料选择原则【东鑫净化】

文章出处 : https://www.dgdongxin.com/ 编辑 : 东鑫净化 人气 : 50 发表时间:

   光学微电子净化车间工程亦名光电无尘室洁净室或光电净化车间工程,目前已是半导体、精细制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年的技术创新发展,对于产品的精细度化、微小型化之需求更为迫切。如超微型积体电路之研究制造,已成为世界各国在科技发展上特别重视的项目。

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   对光学微电子净化车间内空气的流动形态和分布,进行合理的设计即气流的流型,应考虑避免或减少涡流,有利于迅速地排除污染物,尽量受限或减少室内污染源散发的尘和菌的扩散,维持室内生产环境所要求的空气洁净度等级。

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   根据国家相关GB标准文件,行业的不同国标都有强制规范规定。如光学微电子净化车间工程定为十万级,一般的微电子企业部分定为万级或以上,至于这个以上要求,主要根据企业生产的产品和工艺要求,需要达到什么级别。

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  1、净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强。圆弧墙、角、门、窗框等一般采用特别氧化铝型材制造。
  2、地面可采用环氧自流坪地坪或高等级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。
  3、送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。
  4、高能效送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。

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